形成互连结构的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410240705.0

申请日：

2014-05-30

公开(公告)号：

CN105140173B

公开(公告)日：

2015-12-09

发明(设计)人：

张城龙张海洋

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

高静;骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-01-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101640696633 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2014102407050 申请日:20140530
2015-12-09	公开	公开
2018-10-16	授权	授权

共 50 条

[1]

形成互连结构的方法 [P].

张城龙 ;

张海洋 .

中国专利 :CN104979273B ,2015-10-14

[2]

形成互连结构的方法 [P].

张海洋 ;

任佳 .

中国专利 :CN104752326A ,2015-07-01

[3]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN104217991A ,2014-12-17

[4]

互连结构的形成方法 [P].

陈宏 .

中国专利 :CN113725151A ,2021-11-30

[5]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN104143528A ,2014-11-12

[6]

互连结构的形成方法 [P].

何其暘 ;

张城龙 .

中国专利 :CN104752329B ,2015-07-01

[7]

互连结构的形成方法 [P].

肖德元 .

中国专利 :CN105304553B ,2016-02-03

[8]

互连结构的形成方法 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN103633018B ,2014-03-12

[9]

互连结构的形成方法 [P].

陈宏 .

中国专利 :CN113725151B ,2024-03-15

[10]

互连结构的形成方法 [P].

张城龙 ;

张海洋 .

中国专利 :CN105226006A ,2016-01-06

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