互连结构的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410425727.4

申请日：

2014-08-26

公开(公告)号：

CN104157606A

公开(公告)日：

2014-11-19

发明(设计)人：

杨勇黄冲万浩浩欧少敏

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

高静;骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101591906998 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2014104257274 申请日:20140826
2018-05-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/768 申请公布日:20141119
2014-11-19	公开	公开

共 50 条

[1]

互连结构的形成方法 [P].

王新鹏 ;

卜伟海 .

中国专利 :CN104752327A ,2015-07-01

[2]

互连结构的形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105304554B ,2016-02-03

[3]

互连结构的形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105336678B ,2016-02-17

[4]

金属互连结构的形成方法及金属互连结构 [P].

梁天辉 ;

张杰 ;

庄也 ;

陈力钧 ;

荆泉 .

中国专利 :CN120767253A ,2025-10-10

[5]

互连结构及其形成方法 [P].

赖昱泽 ;

张雅惠 .

中国专利 :CN115346916A ,2022-11-15

[6]

互连结构及其形成方法 [P].

杜·B·古延 ;

哈扎拉·S·拉索尔 ;

比伦德拉·N·阿加瓦拉 .

中国专利 :CN1967804A ,2007-05-23

[7]

互连结构及其形成方法 [P].

尼古拉斯·C.·弗勒 ;

蒂莫西·约瑟夫·达尔顿 ;

萨特扬纳拉扬纳·文卡塔·尼塔 .

中国专利 :CN101000904A ,2007-07-18

[8]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105336674A ,2016-02-17

[9]

扇出互连结构及其形成方法 [P].

余振华 ;

胡延章 ;

萧景文 ;

李明机 ;

刘重希 ;

黄见翎 ;

林志伟 ;

陈承先 .

中国专利 :CN104051287A ,2014-09-17

[10]

形成互连结构的方法 [P].

张海洋 ;

任佳 .

中国专利 :CN104752326A ,2015-07-01

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