用于形成自对准互连结构的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010748783.7

申请日：

2020-07-30

公开(公告)号：

CN112309963B

公开(公告)日：

2025-04-22

发明(设计)人：

刘如淦张世明伍海涛

申请人：

台湾积体电路制造股份有限公司

申请人地址：

中国台湾新竹市

IPC主分类号：

H01L21/768

IPC分类号：

H01L23/528

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258

代理人：

朱亦林

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-22	授权	授权
2025-07-25	专利权期限的补偿	专利权期限补偿IPC(主分类):H01L 21/768申请日:20200730授权公告日:20250422原专利权期满终止日:20400730现专利权期满终止日:20410422

共 50 条

[1]

用于形成自对准互连结构的方法 [P].

刘如淦 ;

张世明 ;

伍海涛 .

中国专利 :CN112309963A ,2021-02-02

[2]

自对准互连结构及其制造方法 [P].

K·俊 ;

S·高希 ;

W·拉赫马迪 ;

A·阿格拉瓦尔 ;

S·舒克赛 ;

J·托雷斯 ;

J·卡瓦列罗斯 ;

M·梅茨 ;

R·基奇 ;

K·甘古利 ;

A·默西 .

中国专利 :CN114664789A ,2022-06-24

[3]

用于形成互连结构的方法 [P].

李伟健 ;

陶铮 .

:CN117476545A ,2024-01-30

[4]

互连结构及互连结构的形成方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN104299958A ,2015-01-21

[5]

形成互连结构的方法 [P].

卡利亚潘·穆图库马尔 ;

金龙珍 ;

卡门·莱尔·塞万提斯 ;

巴斯卡尔·乔蒂·布雅 ;

谢祥金 ;

迈克尔·哈维蒂 ;

凯文·卡舍菲 ;

马克·沙丽 ;

艾伦·丹格菲尔德 ;

杰苏斯·坎德拉里奥·门多萨-古铁雷斯 .

美国专利 :CN118824944A ,2024-10-22

[6]

形成互连结构的方法 [P].

卡利亚潘·穆图库马尔 ;

巴斯卡尔·乔蒂·布雅 ;

金龙珍 ;

卡门·莱尔·塞万提斯 ;

谢祥金 ;

杰苏斯·坎德拉里奥·门多萨-古铁雷斯 ;

艾伦·丹格菲尔德 ;

迈克尔·哈维蒂 ;

马克·沙丽 ;

凯文·卡舍菲 .

美国专利 :CN118588634A ,2024-09-03

[7]

互连结构、包含互连结构的半导体结构及其形成方法 [P].

蔡荣洲 ;

张丰愿 ;

黄博祥 ;

刘钦洲 ;

郑仪侃 .

中国专利 :CN112447669A ,2021-03-05

[8]

金属互连结构的形成方法 [P].

张城龙 ;

胡敏达 .

中国专利 :CN104051324A ,2014-09-17

[9]

互连结构及其形成方法 [P].

杨罡 .

中国专利 :CN111627855B ,2020-09-04

[10]

互连结构及其形成方法 [P].

袁可方 ;

周俊卿 ;

张海洋 ;

王智东 .

中国专利 :CN109755175A ,2019-05-14

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