互连结构及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03807671.3

申请日：

2003-04-02

公开(公告)号：

CN100380654C

公开(公告)日：

2005-07-27

发明(设计)人：

P·弗里克 A·科尔 A·L·范布罗克林 D·安德森

申请人：

申请人地址：

美国德克萨斯州

IPC主分类号：

H01L23522

IPC分类号：

H01L2710 H01L2706

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

吴立明;梁永

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-07-27	公开	公开
2005-09-21	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-04-09	授权	授权
2015-05-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101611007886 IPC(主分类):H01L 23/522 专利号:ZL038076713 申请日:20030402 授权公告日:20080409 终止日期:20140402

共 50 条

[1]

互连结构及互连结构的制造方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN108933100A ,2018-12-04

[2]

互连结构以及用于构建互连结构的方法 [P].

迈克尔·G·李 ;

内堀千寻 .

中国专利 :CN103548028B ,2014-01-29

[3]

一种互连结构的形成方法及互连结构 [P].

金吉松 .

中国专利 :CN111564407A ,2020-08-21

[4]

中段互连结构及制造方法 [P].

黄玉莲 ;

傅劲逢 ;

林焕哲 .

中国专利 :CN113921462A ,2022-01-11

[5]

功率芯片互连结构及其互连方法 [P].

王腾 ;

郑静 ;

常永嘉 ;

董晓伟 .

中国专利 :CN104332458A ,2015-02-04

[6]

功率芯片互连结构 [P].

王腾 ;

郑静 ;

常永嘉 ;

董晓伟 .

中国专利 :CN204204848U ,2015-03-11

[7]

互连结构及其形成方法 [P].

林育蔚 ;

吴胜郁 ;

曾裕仁 ;

郭庭豪 ;

陈承先 .

中国专利 :CN108281410A ,2018-07-13

[8]

铜互连结构的清洗方法 [P].

罗朝以 ;

许力恒 ;

夏汇哲 ;

李松 .

中国专利 :CN113506722A ,2021-10-15

[9]

互连结构及其形成方法 [P].

林育蔚 ;

吴胜郁 ;

曾裕仁 ;

郭庭豪 ;

陈承先 .

中国专利 :CN103681615A ,2014-03-26

[10]

用于形成互连结构的方法 [P].

李伟健 ;

陶铮 .

:CN117476545A ,2024-01-30

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