负性光致抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480012725.7

申请日：

2004-05-13

公开(公告)号：

CN1788239A

公开(公告)日：

2006-06-14

发明(设计)人：

广崎贵子新堀博

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

G03F7038

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

程金山

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-01-12	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101061481428 IPC(主分类):G03F 7/038 专利申请号:2004800127257 公开日:20060614
2006-06-14	公开	公开
2006-08-09	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

负性光致抗蚀剂组合物 [P].

金玟秀 ;

李学俊 ;

朴赞硕 .

中国专利 :CN1847981A ,2006-10-18

[2]

负性光致抗蚀剂组合物 [P].

G·帕夫洛夫斯基 ;

陈春伟 ;

J·奥伯兰德 ;

R·普拉斯 .

中国专利 :CN101410756B ,2009-04-15

[3]

光致抗蚀剂组合物 [P].

郑载昌 .

中国专利 :CN1603952A ,2005-04-06

[4]

光致抗蚀剂组合物 [P].

市川幸司 ;

坂本宏 ;

向井优一 .

中国专利 :CN102736417A ,2012-10-17

[5]

光致抗蚀剂组合物 [P].

市川幸司 ;

桥本和彦 ;

夏政焕 .

中国专利 :CN102053495A ,2011-05-11

[6]

光致抗蚀剂组合物 [P].

安藤信雄 ;

武元一树 .

中国专利 :CN102193313A ,2011-09-21

[7]

化学放大型负性光致抗蚀剂组合物 [P].

李昇勋 ;

李昇炫 ;

李秀珍 ;

崔映喆 .

中国专利 :CN109154776B ,2019-01-04

[8]

正性光致抗蚀剂组合物 [P].

文奉锡 ;

金孝精 ;

金珍坤 ;

柳漾泫 ;

金敃志 ;

郑美敬 ;

柳权壹 ;

郑乐七 ;

金先镐 .

中国专利 :CN101116036B ,2008-01-30

[9]

光致抗蚀剂组合物 [P].

杉原昌子 ;

西村崇 ;

坂本宏 .

中国专利 :CN106918990A ,2017-07-04

[10]

光致抗蚀剂组合物 [P].

金东敏 ;

金柄郁 ;

朴大然 ;

金周赫 ;

崔基植 ;

金贞元 ;

李起范 ;

卞哲基 ;

金纹秀 ;

金炳厚 ;

边滋勋 ;

申在浩 .

中国专利 :CN101071266A ,2007-11-14

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