一种硅片全自动插片清洗装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711132687.4

申请日：

2017-11-15

公开(公告)号：

CN107910279B

公开(公告)日：

2018-04-13

发明(设计)人：

付家云胡小海赵军李书森胡瑾曾霞

申请人：

申请人地址：

614800 四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677 B08B308

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

王学强;罗满

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-13	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/67 登记生效日:20210802 变更事项:专利权人变更前权利人:四川永祥硅材料有限公司变更后权利人:四川永祥光伏科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:614800 四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号变更后权利人:614000 四川省乐山市五通桥区金粟镇十字街8号
2020-07-17	授权	授权
2018-05-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20171115
2018-04-13	公开	公开

共 50 条

[1]

一种硅片插片全自动清洗装置 [P].

靳立辉 ;

张学强 ;

郑全午 ;

李伦 ;

周晓英 .

中国专利 :CN205253632U ,2016-05-25

[2]

硅片插片全自动清洗装置及清洗工艺流程 [P].

靳立辉 ;

张学强 ;

郑全午 ;

李伦 ;

周晓英 .

中国专利 :CN105529290A ,2016-04-27

[3]

一种全自动硅片清洗装置 [P].

季丽 ;

王松华 ;

聂海洲 ;

余志兵 .

中国专利 :CN108554922A ,2018-09-21

[4]

一种全自动硅片清洗装置 [P].

季丽 ;

王松华 ;

聂海洲 ;

余志兵 .

中国专利 :CN208772020U ,2019-04-23

[5]

硅片插片装置、硅片清洗设备以及硅片清洗方法 [P].

魏超锋 ;

郭江涛 ;

邓浩 ;

张济蕾 ;

曹明奇 ;

梁刚 .

中国专利 :CN108109935A ,2018-06-01

[6]

全自动硅片插片机 [P].

陈德榜 .

中国专利 :CN203910836U ,2014-10-29

[7]

全自动硅片插片机 [P].

管南南 .

中国专利 :CN207021247U ,2018-02-16

[8]

全自动硅片插片机 [P].

刘景超 ;

姜磊 ;

蔡鹏光 ;

张发强 ;

秦俊涛 .

中国专利 :CN106364909A ,2017-02-01

[9]

全自动硅片插片机 [P].

孙铁囤 ;

姚伟忠 ;

汤平 .

中国专利 :CN206532760U ,2017-09-29

[10]

全自动硅片插片机 [P].

孙铁囤 ;

姚伟忠 ;

汤平 .

中国专利 :CN106711069A ,2017-05-24

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