一种硅片插片全自动清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520998633.6

申请日：

2015-12-07

公开(公告)号：

CN205253632U

公开(公告)日：

2016-05-25

发明(设计)人：

靳立辉张学强郑全午李伦周晓英

申请人：

申请人地址：

300384 天津市西青区海泰东路12号

IPC主分类号：

B08B304

IPC分类号：

B08B1300 F26B2100

代理机构：

天津中环专利商标代理有限公司 12105

代理人：

胡京生

法律状态：

避免重复授权放弃专利权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-12	避免重复授权放弃专利权	避免重复授予专利权 IPC(主分类):B08B 3/04 申请日:20151207 授权公告日:20160525 放弃生效日:20180112
2016-05-25	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片插片全自动清洗装置及清洗工艺流程 [P].

靳立辉 ;

张学强 ;

郑全午 ;

李伦 ;

周晓英 .

中国专利 :CN105529290A ,2016-04-27

[2]

一种硅片全自动插片清洗装置及方法 [P].

付家云 ;

胡小海 ;

赵军 ;

李书森 ;

胡瑾 ;

曾霞 .

中国专利 :CN107910279B ,2018-04-13

[3]

一种全自动硅片插片机 [P].

李毛学 .

中国专利 :CN107546295A ,2018-01-05

[4]

全自动硅片插片机 [P].

陈德榜 .

中国专利 :CN203910836U ,2014-10-29

[5]

全自动硅片插片机 [P].

管南南 .

中国专利 :CN207021247U ,2018-02-16

[6]

全自动硅片插片机 [P].

刘景超 ;

姜磊 ;

蔡鹏光 ;

张发强 ;

秦俊涛 .

中国专利 :CN106364909A ,2017-02-01

[7]

全自动硅片插片机 [P].

孙铁囤 ;

姚伟忠 ;

汤平 .

中国专利 :CN206532760U ,2017-09-29

[8]

全自动硅片插片机 [P].

孙铁囤 ;

姚伟忠 ;

汤平 .

中国专利 :CN106711069A ,2017-05-24

[9]

硅片插片装置、硅片清洗设备以及硅片清洗方法 [P].

魏超锋 ;

郭江涛 ;

邓浩 ;

张济蕾 ;

曹明奇 ;

梁刚 .

中国专利 :CN108109935A ,2018-06-01

[10]

一种全自动硅片插片机 [P].

樊选胜 ;

宛正 ;

杨恒春 .

中国专利 :CN118335668A ,2024-07-12

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