精细掩膜板支撑框架、精细掩膜板及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710333242.6

申请日：

2017-05-12

公开(公告)号：

CN107058946B

公开(公告)日：

2017-08-18

发明(设计)人：

林治明李宝军张健孙朴黄俊杰

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人：

郭润湘

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-26	授权	授权
2017-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101747189088 IPC(主分类):C23C 14/04 专利申请号:2017103332426 申请日:20170512
2017-08-18	公开	公开

共 50 条

[1]

掩膜板支撑框架和掩膜板 [P].

杨凡 ;

莫再隆 .

中国专利 :CN107686964A ,2018-02-13

[2]

一种精细金属掩膜板及其制备方法、掩膜集成框架 [P].

张斌 ;

王新星 ;

周婷婷 ;

孙雪菲 ;

王伟杰 ;

朱海彬 .

中国专利 :CN108251796A ,2018-07-06

[3]

掩膜板支撑框架及掩膜板 [P].

周俊吉 ;

李哲 ;

赵阳 ;

刘鑫 .

中国专利 :CN217839099U ,2022-11-18

[4]

组合掩膜板及其支撑掩膜板 [P].

赵艳秋 ;

张微 ;

周瑞 .

中国专利 :CN111876725A ,2020-11-03

[5]

精细金属掩膜板的张网方法以及掩膜板 [P].

潘燕萍 ;

张丹丹 ;

熊超 ;

余豪 ;

陆文彬 ;

刘嘉辉 ;

潘昱琪 ;

蒋鸣 ;

杨阳 .

中国专利 :CN120291016A ,2025-07-11

[6]

掩膜板支撑框架、掩膜板及其制作方法 [P].

周俊吉 ;

李哲 ;

赵阳 ;

刘鑫 .

中国专利 :CN114990478A ,2022-09-02

[7]

精细掩膜板及其制作方法 [P].

沐俊应 .

中国专利 :CN106591776A ,2017-04-26

[8]

高精细掩膜板及其制造方法 [P].

王伟杰 ;

薛金祥 ;

张峰杰 ;

孙中元 ;

黄清雨 ;

王路 ;

黄华 .

中国专利 :CN115928008B ,2025-02-18

[9]

掩膜板、掩膜装置、掩膜板的制备方法 [P].

朱海彬 ;

董学 ;

袁广才 ;

王伟杰 ;

张峰杰 .

中国专利 :CN109440061A ,2019-03-08

[10]

掩膜板框架及掩膜板 [P].

韩超杰 ;

汪仁朋 ;

冉应刚 ;

王红英 ;

蔡晓义 .

中国专利 :CN210534534U ,2020-05-15

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