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获得光刻工艺关键尺寸摇摆曲线的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111409042.7
申请日：
2021-11-25
公开(公告)号：
CN114077166A
公开(公告)日：
2022-02-22
发明(设计)人：
詹海娇
高松
胡丹丹
申请人：
申请人地址：
201315 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
郭立
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-22 | 公开 | 公开 |
| 2022-03-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20211125 |