高频电源及等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010070264.X

申请日：

2020-01-21

公开(公告)号：

CN111524781A

公开(公告)日：

2020-08-11

发明(设计)人：

久保田绅治道菅隆

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

任玉敏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20200121
2020-08-11	公开	公开

共 50 条

[1]

高频电源及等离子体处理装置 [P].

久保田绅治 ;

道菅隆 .

日本专利 :CN111524781B ,2024-06-14

[2]

高频等离子体处理装置和高频等离子体处理方法 [P].

东条利洋 ;

佐佐木和男 .

中国专利 :CN104882376B ,2015-09-02

[3]

等离子体处理装置、高频电源的校正方法、高频电源 [P].

佐藤贤司 .

中国专利 :CN101277578B ,2008-10-01

[4]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

岩濑拓 ;

荒濑高男 ;

寺仓聪志 ;

渡边勇人 ;

森政士 .

中国专利 :CN111373511A ,2020-07-03

[5]

等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

青木裕介 ;

户花敏胜 ;

高田郁弥 ;

森北信也 ;

藤原一延 ;

阿部淳 ;

永海幸一 .

日本专利 :CN119092390A ,2024-12-06

[6]

等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

久保田绅治 ;

永关一也 ;

桧森慎司 ;

永海幸一 .

日本专利 :CN121148980A ,2025-12-16

[7]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

玉虫元 ;

井上雅博 .

中国专利 :CN113078040A ,2021-07-06

[8]

等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

青木裕介 ;

户花敏胜 ;

高田郁弥 ;

森北信也 ;

藤原一延 ;

阿部淳 ;

永海幸一 .

中国专利 :CN112103165A ,2020-12-18

[9]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

上坂友佑人 .

日本专利 :CN120188576A ,2025-06-20

[10]

等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

久保田绅治 ;

永关一也 ;

桧森慎司 ;

永海幸一 .

中国专利 :CN112951698A ,2021-06-11

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