等离子体处理装置、高频电源的校正方法、高频电源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810086928.0

申请日：

2008-03-28

公开(公告)号：

CN101277578B

公开(公告)日：

2008-10-01

发明(设计)人：

佐藤贤司

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

H01L2100

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-05-23	授权	授权
2008-10-01	公开	公开
2008-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

高频电源及等离子体处理装置 [P].

久保田绅治 ;

道菅隆 .

日本专利 :CN111524781B ,2024-06-14

[2]

高频电源及等离子体处理装置 [P].

久保田绅治 ;

道菅隆 .

中国专利 :CN111524781A ,2020-08-11

[3]

等离子体处理装置以及控制其高频电源的方法 [P].

永岩利文 .

日本专利 :CN111095497B ,2024-05-07

[4]

等离子体处理装置以及控制其高频电源的方法 [P].

永岩利文 .

中国专利 :CN111095497A ,2020-05-01

[5]

高频等离子体处理装置和高频等离子体处理方法 [P].

东条利洋 ;

佐佐木和男 .

中国专利 :CN104882376B ,2015-09-02

[6]

高频电源及其控制方法、和等离子体处理装置 [P].

速水利泰 ;

大濑刚 ;

高平淳一 ;

岛田淳一 .

中国专利 :CN1602651A ,2005-03-30

[7]

等离子体处理装置和高频电力供给装置 [P].

速水利泰 ;

岩崎征英 ;

高平淳一 ;

渡部一良 ;

小松真一 ;

佐佐木雄一 .

中国专利 :CN101064987A ,2007-10-31

[8]

等离子体处理装置和高频电力供给装置 [P].

速水利泰 ;

岩崎征英 ;

高平淳一 ;

渡部一良 ;

小松真一 ;

佐佐木雄一 .

中国专利 :CN1280873C ,2004-10-20

[9]

电源系统、等离子体处理装置和电源控制方法 [P].

平野太一 ;

石桥淳治 ;

伊藤惠贵 ;

佐藤邦纮 .

中国专利 :CN105990088A ,2016-10-05

[10]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

森本未知数 ;

安井尚辉 ;

大越康雄 .

中国专利 :CN104241071A ,2014-12-24

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