等离子体处理装置以及控制其高频电源的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980004435.4

申请日：

2019-06-03

公开(公告)号：

CN111095497A

公开(公告)日：

2020-05-01

发明(设计)人：

永岩利文

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

H01L21683 H05H146

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20190603
2020-05-01	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体处理装置以及控制其高频电源的方法 [P].

永岩利文 .

日本专利 :CN111095497B ,2024-05-07

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

岩田学 ;

中山博之 ;

增泽健二 ;

本田昌伸 .

中国专利 :CN101515545B ,2009-08-26

[3]

等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

进藤俊彦 ;

冈本晋 ;

樋口公博 .

中国专利 :CN100414672C ,2005-10-05

[4]

高频电源及等离子体处理装置 [P].

久保田绅治 ;

道菅隆 .

日本专利 :CN111524781B ,2024-06-14

[5]

高频电源及等离子体处理装置 [P].

久保田绅治 ;

道菅隆 .

中国专利 :CN111524781A ,2020-08-11

[6]

等离子体处理装置、电源系统以及控制方法 [P].

上坂友佑人 ;

S·博洛托夫 .

日本专利 :CN120584550A ,2025-09-02

[7]

等离子体处理装置、高频电源的校正方法、高频电源 [P].

佐藤贤司 .

中国专利 :CN101277578B ,2008-10-01

[8]

等离子体处理方法以及等离子体处理装置 [P].

武藤悟 ;

小野哲郎 ;

大越康雄 ;

永德宏文 .

中国专利 :CN104103486B ,2014-10-15

[9]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

森本未知数 ;

大越康雄 ;

大平原勇造 ;

小野哲郎 .

中国专利 :CN103632914A ,2014-03-12

[10]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

安藤阳二 ;

小野哲郎 ;

臼井建人 .

中国专利 :CN103811249B ,2014-05-21

← 1 2 3 4 5 →