Cu-Ga合金溅射靶及Cu-Ga合金溅射靶的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880014267.2

申请日：

2018-12-19

公开(公告)号：

CN110337508A

公开(公告)日：

2019-10-15

发明(设计)人：

森晓梅本启太桥本周武田拓真

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

B22F310 C22C104 C22C105 C22C900 H01L310749

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

朴圣洁;王珍仙

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-04	授权	授权
2019-10-15	公开	公开
2019-11-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20181219

共 50 条

[1]

Cu-Ga合金溅射靶及Cu-Ga合金溅射靶的制造方法 [P].

森晓 ;

武田拓真 .

中国专利 :CN111492091A ,2020-08-04

[2]

Cu-Ga合金溅射靶的制造方法及Cu-Ga合金溅射靶 [P].

吉田勇气 ;

植田稔晃 ;

森晓 .

中国专利 :CN108603280B ,2018-09-28

[3]

Cu-Ga合金溅射靶以及Cu-Ga合金溅射靶的制造方法 [P].

吉田勇气 ;

植田稔晃 ;

森晓 .

中国专利 :CN107429384B ,2017-12-01

[4]

Cu-Ga合金溅射靶的制造方法以及Cu-Ga合金溅射靶 [P].

横林贞之 .

中国专利 :CN102451910A ,2012-05-16

[5]

Cu-Ga溅射靶及Cu-Ga溅射靶的制造方法 [P].

梅本启太 ;

井尾谦介 ;

张守斌 ;

盐野一郎 .

中国专利 :CN109563614A ,2019-04-02

[6]

Cu-Ga合金溅射靶 [P].

桥本周 ;

梅本启太 ;

白井孝典 ;

武田拓真 ;

浦山恒太郎 .

中国专利 :CN111771012A ,2020-10-13

[7]

Cu－Ga合金以及Cu－Ga合金溅射靶 [P].

失野智泰 .

中国专利 :CN102959107A ,2013-03-06

[8]

Cu-Ga合金溅射靶 [P].

卫藤雅俊 .

中国专利 :CN105274481A ,2016-01-27

[9]

Cu-Ga合金、溅射靶、Cu-Ga合金的制造方法以及溅射靶的制造方法 [P].

平本雄一 ;

外木达也 .

中国专利 :CN101906552A ,2010-12-08

[10]

Cu-Ga合金溅射靶材 [P].

卫藤雅俊 .

中国专利 :CN106011755B ,2016-10-12

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