一种晶圆裂片夹具

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021512206.X

申请日：

2020-07-27

公开(公告)号：

CN212848317U

公开(公告)日：

2021-03-30

发明(设计)人：

徐鹏

申请人：

申请人地址：

710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

黄灿;顾春天

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-30	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆裂片装置 [P].

王伟 .

中国专利 :CN208433376U ,2019-01-25

[2]

一种晶圆裂片装置 [P].

马钰 ;

梁鸿顺 ;

吴钊 ;

魏峰 ;

陈文志 ;

魏莹 ;

蔡家豪 ;

邱智中 ;

张家宏 .

中国专利 :CN205911289U ,2017-01-25

[3]

一种晶圆裂片机 [P].

谭莲燕 ;

刘衍彬 .

中国专利 :CN220428879U ,2024-02-02

[4]

一种晶圆裂片装置及晶圆裂片方法 [P].

郭凯 ;

冯田田 ;

唐毅 ;

敬毅 ;

谢雷 .

中国专利 :CN115036213A ,2022-09-09

[5]

一种晶圆裂片机 [P].

夏芳 ;

谭莲燕 ;

常进 .

中国专利 :CN214279918U ,2021-09-24

[6]

一种晶圆裂片装置 [P].

于如远 ;

李广德 ;

于强 .

中国专利 :CN216139219U ,2022-03-29

[7]

晶圆裂片装置 [P].

赵裕兴 ;

梁倍宁 .

中国专利 :CN210705411U ,2020-06-09

[8]

晶圆裂片装置 [P].

孙耀 .

中国专利 :CN204516726U ,2015-07-29

[9]

一种晶圆裂片装置及裂片机 [P].

余俊华 ;

胡心悦 ;

周福海 ;

黄韶湖 ;

尹建刚 ;

高云峰 .

中国专利 :CN215849006U ,2022-02-18

[10]

一种晶圆裂片方法以及用于晶圆裂片的裂片膜 [P].

张中英 ;

林宗民 ;

黄苡叡 ;

邓有财 .

中国专利 :CN114055651B ,2024-02-27

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