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堆叠晶圆的制造方法及制造系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811599145.2
申请日：
2018-12-26
公开(公告)号：
CN111180425A
公开(公告)日：
2020-05-19
发明(设计)人：
丘世仰
申请人：
申请人地址：
中国台湾新北市
IPC主分类号：
H01L25065
IPC分类号：
代理机构：
隆天知识产权代理有限公司 72003
代理人：
黄艳
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 25/065 申请日:20181226 |
| 2020-05-19 | 公开 | 公开 |