一种掩膜版、曝光装置及曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510622624.1

申请日：

2015-09-25

公开(公告)号：

CN105116694A

公开(公告)日：

2015-12-02

发明(设计)人：

齐鹏煜查长军王艳萍汪栋袁剑峰邵喜斌张焱肖金涛郭杨辰

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F730

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

许静;黄灿

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-02	公开	公开
2015-12-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101640141314 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015106226241 申请日:20150925
2017-12-22	授权	授权

共 50 条

[1]

掩膜版、曝光装置及曝光方法 [P].

闫春龙 ;

甄龙 ;

李强 ;

王德龙 ;

李泽成 .

中国专利 :CN107844025A ,2018-03-27

[2]

掩膜版、曝光装置 [P].

闫春龙 ;

甄龙 ;

李强 ;

王德龙 ;

李泽成 .

中国专利 :CN207636925U ,2018-07-20

[3]

曝光装置、掩膜板及曝光方法 [P].

伍强 ;

刘畅 ;

郝静安 ;

胡华勇 ;

刘洋 .

中国专利 :CN104793467A ,2015-07-22

[4]

一种掩膜装置、曝光装置及曝光方法 [P].

吴斌 ;

余忠兴 .

中国专利 :CN104597723A ,2015-05-06

[5]

一种掩膜版、曝光装置及系统 [P].

张青 .

中国专利 :CN202453647U ,2012-09-26

[6]

使用反射式掩膜版的曝光装置及曝光方法 [P].

武延兵 .

中国专利 :CN102998893B ,2013-03-27

[7]

掩膜版夹具及晶圆曝光装置 [P].

周阳 ;

葛伟伟 ;

黄志凯 .

中国专利 :CN207611234U ,2018-07-13

[8]

反射式掩膜版及曝光装置 [P].

武延兵 .

中国专利 :CN202886835U ,2013-04-17

[9]

一种光掩膜版和曝光装置 [P].

席克瑞 ;

冯彦贵 ;

何伟 ;

余丰 .

中国专利 :CN118377186A ,2024-07-23

[10]

一种光掩膜版和曝光装置 [P].

席克瑞 ;

冯彦贵 ;

何伟 ;

余丰 .

中国专利 :CN118377186B ,2025-09-23

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