一种掩膜装置、曝光装置及曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510058241.6

申请日：

2015-02-04

公开(公告)号：

CN104597723A

公开(公告)日：

2015-05-06

发明(设计)人：

吴斌余忠兴

申请人：

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F700

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-22	授权	授权
2015-05-06	公开	公开
2015-05-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101611562710 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015100582416 申请日:20150204

共 50 条

[1]

曝光装置、掩膜板及曝光方法 [P].

伍强 ;

刘畅 ;

郝静安 ;

胡华勇 ;

刘洋 .

中国专利 :CN104793467A ,2015-07-22

[2]

一种掩膜板、掩膜曝光设备及掩膜曝光方法 [P].

藤野诚治 ;

张嵩 ;

王涛 ;

高静 ;

杜小波 .

中国专利 :CN104749874A ,2015-07-01

[3]

掩膜版、曝光装置及曝光方法 [P].

闫春龙 ;

甄龙 ;

李强 ;

王德龙 ;

李泽成 .

中国专利 :CN107844025A ,2018-03-27

[4]

一种掩膜版、曝光装置及曝光方法 [P].

齐鹏煜 ;

查长军 ;

王艳萍 ;

汪栋 ;

袁剑峰 ;

邵喜斌 ;

张焱 ;

肖金涛 ;

郭杨辰 .

中国专利 :CN105116694A ,2015-12-02

[5]

一种掩膜板吸附装置、光掩膜装置及曝光设备 [P].

万冀豫 ;

杨同华 ;

张思凯 ;

冯贺 ;

齐鹏煜 .

中国专利 :CN205880499U ,2017-01-11

[6]

一种掩膜板及曝光系统 [P].

王曼 ;

翟玉漫 ;

张晓妹 .

中国专利 :CN206421156U ,2017-08-18

[7]

一种掩膜板、曝光装置及其进行曝光的方法 [P].

许卓 ;

张逵 ;

王孝林 ;

白雅杰 ;

汪锐 ;

金在光 ;

尚飞 ;

邱海军 .

中国专利 :CN106707682A ,2017-05-24

[8]

掩膜装置和曝光设备 [P].

齐鹏煜 ;

张思凯 ;

汪栋 .

中国专利 :CN108508694A ,2018-09-07

[9]

掩膜版、曝光装置 [P].

闫春龙 ;

甄龙 ;

李强 ;

王德龙 ;

李泽成 .

中国专利 :CN207636925U ,2018-07-20

[10]

一种曝光设备、掩膜板及曝光方法 [P].

郭建 ;

周伟峰 ;

明星 ;

陈永 ;

肖光辉 .

中国专利 :CN102243444A ,2011-11-16

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