一种掩膜板、曝光装置及其进行曝光的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710008479.7

申请日：

2017-01-05

公开(公告)号：

CN106707682A

公开(公告)日：

2017-05-24

发明(设计)人：

许卓张逵王孝林白雅杰汪锐金在光尚飞邱海军

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

G03F142

IPC分类号：

代理机构：

北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人：

朱琳爱义

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101727781070 IPC(主分类):G03F 1/42 专利申请号:2017100084797 申请日:20170105
2017-05-24	公开	公开

共 50 条

[1]

曝光装置、掩膜板及曝光方法 [P].

伍强 ;

刘畅 ;

郝静安 ;

胡华勇 ;

刘洋 .

中国专利 :CN104793467A ,2015-07-22

[2]

掩膜板及其制备方法、曝光装置 [P].

陈填源 ;

郑振伟 ;

黄燕燕 ;

李梁杰 ;

吴树茂 ;

赖国昌 .

中国专利 :CN117784514A ,2024-03-29

[3]

一种掩膜板、掩膜曝光设备及掩膜曝光方法 [P].

藤野诚治 ;

张嵩 ;

王涛 ;

高静 ;

杜小波 .

中国专利 :CN104749874A ,2015-07-01

[4]

一种掩膜装置、曝光装置及曝光方法 [P].

吴斌 ;

余忠兴 .

中国专利 :CN104597723A ,2015-05-06

[5]

一种曝光设备、掩膜板及曝光方法 [P].

郭建 ;

周伟峰 ;

明星 ;

陈永 ;

肖光辉 .

中国专利 :CN102243444A ,2011-11-16

[6]

掩膜板及曝光方法 [P].

任书铭 ;

章磊 ;

李成立 .

中国专利 :CN111381437A ,2020-07-07

[7]

掩膜板及曝光方法 [P].

何成勇 ;

王洋 ;

杨军 ;

王鑫 ;

李官正 ;

李金祥 ;

王兴明 ;

蔡鹏 ;

崔晓晨 ;

张俊伟 ;

张灿 ;

王纯杰 .

中国专利 :CN107976873A ,2018-05-01

[8]

掩膜板及曝光方法 [P].

任书铭 .

中国专利 :CN111381434B ,2020-07-07

[9]

掩膜板及其制造方法和掩膜曝光方法 [P].

谢振宇 ;

林承武 ;

陈旭 ;

郭建 ;

刘翔 .

中国专利 :CN101840149B ,2010-09-22

[10]

掩膜版、曝光装置及曝光方法 [P].

闫春龙 ;

甄龙 ;

李强 ;

王德龙 ;

李泽成 .

中国专利 :CN107844025A ,2018-03-27

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