使用反射式掩膜版的曝光装置及曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210469864.9

申请日：

2012-11-19

公开(公告)号：

CN102998893B

公开(公告)日：

2013-03-27

发明(设计)人：

武延兵

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

G03F124

IPC分类号：

G03F152 G03F720

代理机构：

北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人：

宋珊珊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-06-25	授权	授权
2013-03-27	公开	公开
2013-04-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101444326818 IPC(主分类):G03F 1/24 专利申请号:2012104698649 申请日:20121119

共 50 条

[1]

反射式掩膜版及曝光装置 [P].

武延兵 .

中国专利 :CN202886835U ,2013-04-17

[2]

掩膜版、曝光装置及曝光方法 [P].

闫春龙 ;

甄龙 ;

李强 ;

王德龙 ;

李泽成 .

中国专利 :CN107844025A ,2018-03-27

[3]

掩膜版、曝光装置 [P].

闫春龙 ;

甄龙 ;

李强 ;

王德龙 ;

李泽成 .

中国专利 :CN207636925U ,2018-07-20

[4]

反射式无掩膜激光直写曝光机 [P].

洪国书 ;

刘俊贤 ;

张明宏 ;

廖述政 .

中国专利 :CN112631078A ,2021-04-09

[5]

一种掩膜版、曝光装置及曝光方法 [P].

齐鹏煜 ;

查长军 ;

王艳萍 ;

汪栋 ;

袁剑峰 ;

邵喜斌 ;

张焱 ;

肖金涛 ;

郭杨辰 .

中国专利 :CN105116694A ,2015-12-02

[6]

曝光装置、掩膜板及曝光方法 [P].

伍强 ;

刘畅 ;

郝静安 ;

胡华勇 ;

刘洋 .

中国专利 :CN104793467A ,2015-07-22

[7]

掩膜版夹具及晶圆曝光装置 [P].

周阳 ;

葛伟伟 ;

黄志凯 .

中国专利 :CN207611234U ,2018-07-13

[8]

一种掩膜装置、曝光装置及曝光方法 [P].

吴斌 ;

余忠兴 .

中国专利 :CN104597723A ,2015-05-06

[9]

一种掩膜版、曝光装置及系统 [P].

张青 .

中国专利 :CN202453647U ,2012-09-26

[10]

一种半导体组合掩膜版曝光装置及使用方法 [P].

王传祥 .

中国专利 :CN111650817A ,2020-09-11

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