一种用后热解氮化硼坩埚的表面修复方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210287522.5

申请日：

2012-08-13

公开(公告)号：

CN102776509A

公开(公告)日：

2012-11-14

发明(设计)人：

何军舫房明浩刘艳改黄朝晖

申请人：

申请人地址：

101101 北京市通州区滨河路108号

IPC主分类号：

C23C2600

IPC分类号：

C09D100 C30B3500

代理机构：

北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348

代理人：

王伟锋;刘铁生

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101375970131 IPC(主分类):C23C 26/00 专利申请号:2012102875225 申请日:20120813
2014-04-16	授权	授权
2012-11-14	公开	公开
2019-06-18	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 26/00 登记生效日:20190529 变更事项:专利权人变更前权利人:北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司变更后权利人:北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司变更事项:地址变更前权利人:101101 北京市通州区滨河路108号变更后权利人:101101 北京市通州区滨河路108号变更事项:共同专利权人变更后权利人:博宇（朝阳）半导体科技有限公司博宇（天津）半导体材料有限公司

共 50 条

[1]

热解氮化硼坩埚的制备方法 [P].

胡丹 ;

朱刘 ;

余明 .

中国专利 :CN108193192A ,2018-06-22

[2]

热解一氮化硼坩埚和方法 [P].

A·Y·萨尼 ;

J·伦纳茨 ;

A·莫雷 ;

T·德万 .

中国专利 :CN1400336A ,2003-03-05

[3]

一种热解氮化硼坩埚及其制备方法 [P].

胡丹 ;

朱刘 ;

张贵林 .

中国专利 :CN106381476A ,2017-02-08

[4]

一种热解氮化硼细颈蒸发坩埚 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN202865337U ,2013-04-10

[5]

组合式热解氮化硼坩埚内衬 [P].

朱明 ;

周星 ;

刘宏葆 ;

李重河 ;

毛协民 .

中国专利 :CN1995884A ,2007-07-11

[6]

组合式热解氮化硼坩埚内衬 [P].

朱明 ;

周星 ;

刘宏葆 ;

李重河 ;

毛协民 .

中国专利 :CN2901207Y ,2007-05-16

[7]

一种易脱模的热解氮化硼坩埚的制备方法 [P].

刘汝萃 ;

刘汝强 .

中国专利 :CN102586754B ,2012-07-18

[8]

一种长寿命热解氮化硼坩埚的制备方法 [P].

王彩华 ;

刘汝强 ;

宋琪 ;

赵旭荣 ;

王之腾 .

中国专利 :CN105603388B ,2016-05-25

[9]

一种热解氮化硼坩埚表层镀膜方法及装置 [P].

高永亮 ;

惠峰 ;

王文军 .

中国专利 :CN1888126A ,2007-01-03

[10]

具有热解氮化硼保护层的蒸发坩埚 [P].

何军舫 ;

王军勇 .

中国专利 :CN202792948U ,2013-03-13

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