一种压力传感器及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202110659871.4
申请日
2021-06-11
公开(公告)号
CN113252232A
公开(公告)日
2021-08-13
发明(设计)人
武斌 许克宇
申请人
申请人地址
518000 广东省深圳市光明新区公明街道塘家社区观光路汇业科技园厂房3栋C区第3层第301-308号(3层304)
IPC主分类号
G01L900
IPC分类号
G01L906
代理机构
深圳市合道英联专利事务所(普通合伙) 44309
代理人
廉红果
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种压力传感器及其制备方法 [P]. 
武斌 ;
许克宇 .
中国专利 :CN113252232B ,2025-07-15
[2]
一种压力传感器及其制备方法 [P]. 
许克宇 ;
武斌 .
中国专利 :CN113390552A ,2021-09-14
[3]
一种压力传感器及其制备方法 [P]. 
许克宇 ;
武斌 .
中国专利 :CN113390552B ,2025-07-11
[4]
一种压力传感器 [P]. 
武斌 ;
许克宇 .
中国专利 :CN215217897U ,2021-12-17
[5]
一种压力传感器 [P]. 
许克宇 ;
武斌 .
中国专利 :CN215217896U ,2021-12-17
[6]
一种MEMS压力传感器及其制备方法 [P]. 
张志强 ;
邹祉晗 ;
李良伟 ;
黄晓东 .
中国专利 :CN114235233A ,2022-03-25
[7]
一种MEMS压力传感器及其制备方法 [P]. 
张志强 ;
邹祉晗 ;
李良伟 ;
黄晓东 .
中国专利 :CN114235233B ,2024-01-05
[8]
一种MEMS压力传感器及其制备方法 [P]. 
张志强 ;
王博 ;
廖俊杰 ;
黄晓东 .
中国专利 :CN114235232B ,2024-05-31
[9]
压力传感器及其制备方法 [P]. 
曹欣怡 ;
陈中 ;
李晓波 .
中国专利 :CN118482841A ,2024-08-13
[10]
一种MEMS压力传感器及其制备方法 [P]. 
张志强 ;
王博 ;
廖俊杰 ;
黄晓东 .
中国专利 :CN114235232A ,2022-03-25