一种压力传感器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110659871.4

申请日：

2021-06-11

公开(公告)号：

CN113252232B

公开(公告)日：

2025-07-15

发明(设计)人：

武斌许克宇

申请人：

深圳市美思先端电子有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市光明区凤凰街道凤凰社区招商局光明科技园B1B2栋B2-301

IPC主分类号：

G01L9/00

IPC分类号：

G01L9/06

代理机构：

深圳市精英创新知识产权代理有限公司 44740

代理人：

黄文锋

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种压力传感器及其制备方法 [P].

武斌 ;

许克宇 .

中国专利 :CN113252232A ,2021-08-13

[2]

一种压力传感器及其制备方法 [P].

许克宇 ;

武斌 .

中国专利 :CN113390552A ,2021-09-14

[3]

一种压力传感器及其制备方法 [P].

许克宇 ;

武斌 .

中国专利 :CN113390552B ,2025-07-11

[4]

一种压力传感器 [P].

武斌 ;

许克宇 .

中国专利 :CN215217897U ,2021-12-17

[5]

一种压力传感器 [P].

许克宇 ;

武斌 .

中国专利 :CN215217896U ,2021-12-17

[6]

一种MEMS压力传感器及其制备方法 [P].

张志强 ;

邹祉晗 ;

李良伟 ;

黄晓东 .

中国专利 :CN114235233A ,2022-03-25

[7]

一种MEMS压力传感器及其制备方法 [P].

张志强 ;

邹祉晗 ;

李良伟 ;

黄晓东 .

中国专利 :CN114235233B ,2024-01-05

[8]

一种MEMS压力传感器及其制备方法 [P].

张志强 ;

王博 ;

廖俊杰 ;

黄晓东 .

中国专利 :CN114235232B ,2024-05-31

[9]

压力传感器及其制备方法 [P].

曹欣怡 ;

陈中 ;

李晓波 .

中国专利 :CN118482841A ,2024-08-13

[10]

一种MEMS压力传感器及其制备方法 [P].

张志强 ;

王博 ;

廖俊杰 ;

黄晓东 .

中国专利 :CN114235232A ,2022-03-25

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