一种光刻胶特性参数的测量装置及方法

被引：0

申请号：

CN202111630550.8

申请日：

2021-12-28

公开(公告)号：

CN114324258A

公开(公告)日：

2022-04-12

发明(设计)人：

贾辛刘志祥刘卫静谢强

申请人：

申请人地址：

610209 四川省成都市双流350信箱

IPC主分类号：

G01N2159

IPC分类号：

G01N2101

代理机构：

北京科迪生专利代理有限责任公司 11251

代理人：

金怡

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-12	公开	公开
2022-04-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/59 申请日:20211228

共 50 条

[1]

光刻胶的参数检测方法及装置 [P].

钱娟娟 ;

马超 ;

黄胜 ;

徐海涛 ;

江涛 ;

张慧文 ;

齐发 .

中国专利 :CN106053355A ,2016-10-26

[2]

一种光刻胶的制备方法，光刻胶及滤光片 [P].

于晓平 .

中国专利 :CN108508701A ,2018-09-07

[3]

一种光刻胶瓶及光刻胶装置 [P].

陈阵 .

中国专利 :CN115101450A ,2022-09-23

[4]

一种光刻胶的制备方法，光刻胶及滤光片 [P].

于晓平 .

中国专利 :CN108345175A ,2018-07-31

[5]

一种光刻胶涂布装置 [P].

宫奎 ;

段献学 ;

刘天真 ;

陈程 .

中国专利 :CN106547169A ,2017-03-29

[6]

光刻胶挥发速率测量装置 [P].

秦龙 ;

李文哲 ;

汪武平 ;

耿文练 .

中国专利 :CN220671198U ,2024-03-26

[7]

光刻胶、光刻胶组合产品及光刻胶图案化的方法 [P].

徐宏 ;

何向明 ;

刘天棋 .

中国专利 :CN115903376B ,2025-01-14

[8]

一种光刻胶树脂、制备方法及光刻胶 [P].

纪学顺 ;

蒋志强 ;

马吉全 .

中国专利 :CN121135937A ,2025-12-16

[9]

一种光刻胶挥发速率测量装置 [P].

刘会珍 .

中国专利 :CN223565500U ,2025-11-18

[10]

光刻版图、光刻胶图形及测量光刻胶图形曝光误差的方法 [P].

岳力挽 ;

赵新民 ;

周孟兴 ;

王彩虹 .

中国专利 :CN102809895B ,2012-12-05

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