氧化物薄膜晶体管的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610808802.4

申请日：

2016-09-08

公开(公告)号：

CN106298956A

公开(公告)日：

2017-01-04

发明(设计)人：

谢应涛

申请人：

申请人地址：

430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋

IPC主分类号：

H01L29786

IPC分类号：

H01L21336 H01L2102 H01L213105

代理机构：

深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304

代理人：

孙伟峰;黄进

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-04	公开	公开
2020-05-01	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 29/786 申请公布日:20170104
2017-02-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101700844403 IPC(主分类):H01L 29/786 专利申请号:2016108088024 申请日:20160908

共 50 条

[1]

氧化物薄膜晶体管的制备方法 [P].

姚琪 ;

张锋 ;

曹占锋 ;

何晓龙 ;

张斌 ;

李正亮 .

中国专利 :CN105140131A ,2015-12-09

[2]

氧化物薄膜晶体管及包括氧化物薄膜晶体管的阵列基板 [P].

杨熙正 ;

扈源俊 ;

金娥罗 .

中国专利 :CN104681623A ,2015-06-03

[3]

氧化物薄膜晶体管的制备方法 [P].

尹贵永 ;

郑浩旋 .

中国专利 :CN114038759B ,2022-02-11

[4]

氧化物薄膜晶体管结构的制作方法及氧化物薄膜晶体管结构 [P].

胡宇彤 ;

曾志远 ;

苏智昱 ;

李文辉 ;

吕晓文 ;

石龙强 ;

张合静 .

中国专利 :CN104037090A ,2014-09-10

[5]

氧化物薄膜晶体管的制造方法 [P].

刘萍 .

中国专利 :CN103050412B ,2013-04-17

[6]

制造氧化物薄膜晶体管的方法 [P].

朴相武 ;

金峰澈 ;

河灿起 ;

权真佑 ;

李炯兆 .

中国专利 :CN103855030A ,2014-06-11

[7]

氧化物薄膜晶体管的制造方法 [P].

金大元 ;

裵钟旭 .

中国专利 :CN101908489A ,2010-12-08

[8]

一种氧化物薄膜晶体管的制作方法及氧化物薄膜晶体管 [P].

李风浪 ;

李舒歆 .

中国专利 :CN106384748A ,2017-02-08

[9]

一种金属氧化物薄膜晶体管的制备方法 [P].

张盛东 ;

邵阳 ;

周晓梁 ;

张乐陶 ;

卢慧玲 .

中国专利 :CN106373998A ,2017-02-01

[10]

氧化物薄膜晶体管基板 [P].

尹弼相 ;

李永旭 ;

李禹根 .

中国专利 :CN102194831B ,2011-09-21

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