一种扩散炉及扩散装置

被引：0

申请号：

CN202222049863.0

申请日：

2022-08-04

公开(公告)号：

CN218321748U

公开(公告)日：

2023-01-17

发明(设计)人：

周公庆

申请人：

申请人地址：

620000 四川省眉山市东坡区修文镇进修路8号附1号

IPC主分类号：

C30B3110

IPC分类号：

C30B3116 H01L21223 H01L3118

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

周宇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-17	授权	授权

共 50 条

[1]

气流扩散装置及扩散炉 [P].

安重镒 ;

李相遇 ;

金成基 ;

李亭亭 ;

熊文娟 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN111575799A ,2020-08-25

[2]

扩散炉及扩散系统 [P].

舒大帅 .

中国专利 :CN218321749U ,2023-01-17

[3]

硼扩散装置 [P].

严佩佩 ;

简磊 ;

黄剑 ;

王榕 .

中国专利 :CN223428823U ,2025-10-10

[4]

扩散装置 [P].

严佩佩 ;

王榕 .

中国专利 :CN120043351A ,2025-05-27

[5]

扩散炉尾气处理系统及扩散炉 [P].

吴晓鹏 ;

彭致远 ;

卢俊峰 .

中国专利 :CN222578960U ,2025-03-07

[6]

一种扩散炉、扩散炉系统及扩散方法 [P].

邹凯 ;

田栋东 ;

李长营 ;

莫磊 ;

张国宏 ;

刘浩浩 ;

张德林 ;

陈亮亮 .

中国专利 :CN117832133A ,2024-04-05

[7]

一种扩散炉 [P].

王福强 ;

李邦勇 ;

李溢 ;

倪升辉 ;

朱纹哲 ;

党继东 .

中国专利 :CN207672157U ,2018-07-31

[8]

一种扩散炉 [P].

王树林 ;

魏洪 ;

丰明璋 .

中国专利 :CN223357831U ,2025-09-19

[9]

一种扩散炉 [P].

熊兼海 ;

陈刚 .

中国专利 :CN218215334U ,2023-01-03

[10]

一种扩散炉及扩散炉系统 [P].

邹凯 ;

田栋东 ;

李长营 ;

莫磊 ;

张国宏 ;

刘浩浩 ;

张德林 ;

陈亮亮 .

中国专利 :CN222581101U ,2025-03-07

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