一种扩散炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422727143.4

申请日：

2024-11-08

公开(公告)号：

CN223357831U

公开(公告)日：

2025-09-19

发明(设计)人：

王树林魏洪丰明璋

申请人：

浙江晶盛光子科技有限公司

申请人地址：

311103 浙江省杭州市临平区经济技术开发区顺达路500号1幢105室

IPC主分类号：

C30B31/10

IPC分类号：

C30B31/16 C30B31/18 C30B29/06 H01L21/67

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

杨杰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种扩散炉 [P].

王福强 ;

李邦勇 ;

李溢 ;

倪升辉 ;

朱纹哲 ;

党继东 .

中国专利 :CN207672157U ,2018-07-31

[2]

一种扩散炉 [P].

熊兼海 ;

陈刚 .

中国专利 :CN218215334U ,2023-01-03

[3]

一种扩散炉及扩散装置 [P].

周公庆 .

中国专利 :CN218321748U ,2023-01-17

[4]

一种扩散炉 [P].

杨健 ;

费正洪 .

中国专利 :CN209636370U ,2019-11-15

[5]

一种扩散炉 [P].

樊坤 ;

刘良玉 ;

禹庆荣 ;

杨彬 ;

张宝锋 .

中国专利 :CN203159745U ,2013-08-28

[6]

扩散炉及扩散系统 [P].

舒大帅 .

中国专利 :CN218321749U ,2023-01-17

[7]

一种扩散炉尾排装置和扩散炉 [P].

童洪波 ;

陈程 ;

梁柱 ;

宫鹏凯 .

中国专利 :CN222336095U ,2025-01-10

[8]

扩散炉尾气处理系统及扩散炉 [P].

吴晓鹏 ;

彭致远 ;

卢俊峰 .

中国专利 :CN222578960U ,2025-03-07

[9]

一种扩散炉、扩散炉系统及扩散方法 [P].

邹凯 ;

田栋东 ;

李长营 ;

莫磊 ;

张国宏 ;

刘浩浩 ;

张德林 ;

陈亮亮 .

中国专利 :CN117832133A ,2024-04-05

[10]

一种扩散炉及扩散炉系统 [P].

邹凯 ;

田栋东 ;

李长营 ;

莫磊 ;

张国宏 ;

刘浩浩 ;

张德林 ;

陈亮亮 .

中国专利 :CN222581101U ,2025-03-07

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