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一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200810041262.7
申请日：
2008-07-31
公开(公告)号：
CN101344728B
公开(公告)日：
2009-01-14
发明(设计)人：
李术新
王帆
申请人：
申请人地址：
201203 上海市张江高科技园区张东路1525号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
G03F900
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
屈蘅;李时云
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2009-03-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2017-07-04 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101754740568 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2008100412627 变更事项:专利权人 变更前:上海微电子装备有限公司 变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司 变更事项:地址 变更前:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号 变更后:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号 |
| 2009-01-14 | 公开 | 公开 |
| 2012-02-01 | 授权 | 授权 |