一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810041262.7

申请日：

2008-07-31

公开(公告)号：

CN101344728B

公开(公告)日：

2009-01-14

发明(设计)人：

李术新王帆

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-03-04	实质审查的生效	实质审查的生效
2017-07-04	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101754740568 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2008100412627 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号
2009-01-14	公开	公开
2012-02-01	授权	授权

共 50 条

[21]

一种光刻投影物镜系统波像差测量装置 [P].

卢增雄 ;

齐月静 ;

苏佳妮 ;

丁功明 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN203882092U ,2014-10-15

[22]

光刻机投影物镜奇像差原位检测方法 [P].

马明英 ;

王向朝 .

中国专利 :CN100428058C ,2005-12-21

[23]

光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法 [P].

涂远莹 ;

王向朝 ;

步扬 .

中国专利 :CN103197512B ,2013-07-10

[24]

平移对称标记及光刻机投影物镜波像差原位检测方法 [P].

邱自成 ;

王向朝 ;

袁琼雁 ;

毕群玉 ;

彭勃 ;

段立峰 ;

黄炳杰 ;

曹宇婷 ;

王渤帆 .

中国专利 :CN101556431A ,2009-10-14

[25]

光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法 [P].

沈丽娜 ;

王向朝 ;

李思坤 ;

闫观勇 ;

诸波尔 ;

张恒 ;

孟泽江 .

中国专利 :CN105319869B ,2016-02-10

[26]

一种光刻机投影物镜像面在线测量方法 [P].

李术新 ;

毛方林 .

中国专利 :CN102200690B ,2011-09-28

[27]

光刻机投影物镜像差在线检测方法、装置、介质、设备及系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119960273B ,2025-06-27

[28]

光刻机投影物镜像差在线检测方法、装置、介质、设备及系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119960273A ,2025-05-09

[29]

自适应定心的光刻机投影物镜波像差检测方法 [P].

闫观勇 ;

王向朝 ;

杨济硕 ;

徐东波 ;

段立峰 .

中国专利 :CN102314095B ,2012-01-11

[30]

投影物镜及光刻机 [P].

侯宝路 ;

沈玲 ;

于迪迪 ;

王进霞 ;

李运锋 .

中国专利 :CN118859633A ,2024-10-29

← 1 2 3 4 5 →