一种扫描喷嘴清洗槽及清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811558307.8

申请日：

2018-12-19

公开(公告)号：

CN111330902B

公开(公告)日：

2021-08-31

发明(设计)人：

邹志文侯永刚朱磊徐康宁崔虎山胡冬冬陈璐许开东

申请人：

申请人地址：

221300 江苏省徐州市邳州市邳州市经济开发区辽河西路8号

IPC主分类号：

B08B308

IPC分类号：

B08B302 B08B1300

代理机构：

北京得信知识产权代理有限公司 11511

代理人：

孟海娟;崔建丽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-31	授权	授权
2020-07-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 3/08 申请日:20181219

共 50 条

[1]

一种晶圆扫描喷嘴清洗槽 [P].

邹志文 ;

华强 ;

侯永刚 ;

黄奔 ;

孟庆国 ;

刘杰 ;

崔虎山 ;

许开东 .

中国专利 :CN213162175U ,2021-05-11

[2]

一种清洗槽 [P].

姚永清 ;

吴梦蓉 ;

沈潮杰 .

中国专利 :CN221288960U ,2024-07-09

[3]

一种清洗槽及清洗装置 [P].

汪云飞 ;

潘能科 .

中国专利 :CN213728201U ,2021-07-20

[4]

一种喷嘴清洗装置及清洗方法 [P].

尹宁 .

中国专利 :CN106513355A ,2017-03-22

[5]

一种石英喷嘴清洗装置及清洗方法 [P].

汪剑勇 .

中国专利 :CN121082589A ,2025-12-09

[6]

喷嘴清洗装置和喷嘴清洗方法 [P].

郑江锚 ;

许胜合 ;

杨锋锋 ;

游立章 ;

卢鹏 ;

兰邦银 .

中国专利 :CN111957647A ,2020-11-20

[7]

一种晶片清洗槽及晶片清洗方法 [P].

毕洪伟 ;

周一 .

中国专利 :CN112466780A ,2021-03-09

[8]

一种晶片清洗槽及晶片清洗方法 [P].

张正伟 ;

贺贤汉 ;

廖宗洁 ;

周伯成 .

中国专利 :CN113764313A ,2021-12-07

[9]

喷嘴清洗方法、喷嘴清洗装置及自动分析装置 [P].

黑田显久 ;

小林光久 ;

加濑仁启 ;

大川保 .

中国专利 :CN101688877B ,2010-03-31

[10]

一种清洗槽结构及槽式清洗设备 [P].

马宏帅 ;

王锐廷 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN118610118A ,2024-09-06

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