一种晶圆扫描喷嘴清洗槽

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021130986.1

申请日：

2020-06-18

公开(公告)号：

CN213162175U

公开(公告)日：

2021-05-11

发明(设计)人：

邹志文华强侯永刚黄奔孟庆国刘杰崔虎山许开东

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号

IPC主分类号：

B08B308

IPC分类号：

B08B1300 H01L2167

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司 32200

代理人：

王美章

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于晶圆扫描的喷嘴及扫描系统 [P].

张怀东 ;

程实然 ;

于翔 ;

张瑶瑶 ;

邹志文 ;

崔虎山 ;

胡冬冬 ;

许开东 .

中国专利 :CN215726865U ,2022-02-01

[2]

伸缩型晶圆扫描装置及晶圆扫描系统 [P].

孙金召 ;

周卫国 ;

刘冬梅 .

中国专利 :CN205376475U ,2016-07-06

[3]

一种晶圆扫描系统 [P].

缪燕 ;

丁欣 .

中国专利 :CN216849847U ,2022-06-28

[4]

一种扫描喷嘴清洗槽及清洗方法 [P].

邹志文 ;

侯永刚 ;

朱磊 ;

徐康宁 ;

崔虎山 ;

胡冬冬 ;

陈璐 ;

许开东 .

中国专利 :CN111330902B ,2021-08-31

[5]

一种晶圆扫描映射成像系统 [P].

厉心宇 .

中国专利 :CN203950789U ,2014-11-19

[6]

一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置 [P].

梅华斌 ;

刘春 ;

张智 ;

闵海英 ;

张敏 .

中国专利 :CN209342120U ,2019-09-03

[7]

晶圆扫描装置及晶圆处理设备 [P].

鲁泽 ;

李俊杰 ;

黄志凯 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN209496834U ,2019-10-15

[8]

一种半导体晶圆晶清洗槽 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

夏振 .

中国专利 :CN215613640U ,2022-01-25

[9]

晶圆清洗槽 [P].

刘佳鑫 ;

童灿钊 ;

赵冬冬 ;

李迁 ;

巫礼杰 ;

仰瑞 ;

高云峰 .

中国专利 :CN214516283U ,2021-10-29

[10]

晶圆清洗槽 [P].

孙彩霞 ;

肖锦成 ;

郭永强 .

中国专利 :CN222462846U ,2025-02-11

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