一种用于晶圆扫描的喷嘴及扫描系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121632606.9

申请日：

2021-07-16

公开(公告)号：

CN215726865U

公开(公告)日：

2022-02-01

发明(设计)人：

张怀东程实然于翔张瑶瑶邹志文崔虎山胡冬冬许开东

申请人：

申请人地址：

221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号

IPC主分类号：

G01N102

IPC分类号：

G01N27626 H01L2167

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

薛晨光

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-03	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01N 1/02 变更事项:专利权人变更前:江苏鲁汶仪器有限公司变更后:江苏鲁汶仪器股份有限公司变更事项:地址变更前:221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号变更后:221300 江苏省徐州市邳州经济开发区辽河西路8号
2022-02-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于晶圆扫描的喷嘴及扫描系统、扫描方法 [P].

张怀东 ;

程实然 ;

于翔 ;

张瑶瑶 ;

邹志文 ;

崔虎山 ;

胡冬冬 ;

许开东 .

中国专利 :CN115700899A ,2023-02-07

[2]

伸缩型晶圆扫描装置及晶圆扫描系统 [P].

孙金召 ;

周卫国 ;

刘冬梅 .

中国专利 :CN205376475U ,2016-07-06

[3]

伸缩型晶圆扫描装置及晶圆扫描系统 [P].

孙金召 ;

周卫国 ;

刘冬梅 .

中国专利 :CN105575845B ,2016-05-11

[4]

一种晶圆扫描系统 [P].

缪燕 ;

丁欣 .

中国专利 :CN216849847U ,2022-06-28

[5]

晶圆扫描系统、晶圆扫描方法及电子设备 [P].

邢举 .

中国专利 :CN120261339A ,2025-07-04

[6]

一种晶圆扫描喷嘴清洗槽 [P].

邹志文 ;

华强 ;

侯永刚 ;

黄奔 ;

孟庆国 ;

刘杰 ;

崔虎山 ;

许开东 .

中国专利 :CN213162175U ,2021-05-11

[7]

一种晶圆扫描映射成像系统 [P].

厉心宇 .

中国专利 :CN203950789U ,2014-11-19

[8]

晶圆扫描装置及晶圆处理设备 [P].

鲁泽 ;

李俊杰 ;

黄志凯 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN209496834U ,2019-10-15

[9]

一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置 [P].

梅华斌 ;

刘春 ;

张智 ;

闵海英 ;

张敏 .

中国专利 :CN209342120U ,2019-09-03

[10]

自适应可变间距晶圆扫描系统及方法 [P].

唐宝国 ;

杨嘉斌 .

中国专利 :CN114496845B ,2025-09-02

← 1 2 3 4 5 →