一种电感耦合等离子体处理器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821494654.4

申请日：

2018-09-13

公开(公告)号：

CN209057396U

公开(公告)日：

2019-07-02

发明(设计)人：

赵馗饭塚浩倪图强庞晓贝

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

代理机构：

上海元好知识产权代理有限公司 31323

代理人：

包姝晴

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种电感耦合等离子体处理器 [P].

赵馗 ;

饭塚浩 ;

倪图强 ;

庞晓贝 ;

张辉 .

中国专利 :CN209218441U ,2019-08-06

[2]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

李昌根 .

中国专利 :CN214043598U ,2021-08-24

[3]

一种电感耦合等离子体处理系统 [P].

刘海洋 ;

刘小波 ;

李雪冬 ;

李娜 ;

程实然 ;

郭颂 ;

胡冬冬 ;

许开东 .

中国专利 :CN110416053B ,2019-11-05

[4]

电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置 [P].

刘宏 ;

刘晓晗 ;

袁洁静 .

中国专利 :CN201311804Y ,2009-09-16

[5]

一种电感耦合等离子体处理装置 [P].

谢小兵 ;

黄智林 ;

万磊 ;

王俊 ;

刘身健 ;

梁洁 .

中国专利 :CN105470087A ,2016-04-06

[6]

电感耦合等离子体装置 [P].

梁洁 ;

罗伟义 .

中国专利 :CN104103485B ,2014-10-15

[7]

电感耦合等离子体装置 [P].

申浩南 .

中国专利 :CN2785310Y ,2006-05-31

[8]

电感耦合等离子体装置 [P].

张宝峰 .

中国专利 :CN2775992Y ,2006-04-26

[9]

电感耦合等离子体处理装置与等离子体产生装置 [P].

倪图强 ;

庞晓贝 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN108271307A ,2018-07-10

[10]

射频电感耦合等离子体灭菌器 [P].

王龙哲 .

中国专利 :CN101797394A ,2010-08-11

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