一种电感耦合等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410461134.3

申请日：

2014-09-11

公开(公告)号：

CN105470087A

公开(公告)日：

2016-04-06

发明(设计)人：

谢小兵黄智林万磊王俊刘身健梁洁

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海智信专利代理有限公司 31002

代理人：

王洁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101658487779 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2014104611343 申请日:20140911
2019-04-05	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01J 37/32 变更事项:专利权人变更前:中微半导体设备（上海）有限公司变更后:中微半导体设备（上海）股份有限公司变更事项:地址变更前:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号变更后:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
2017-07-07	授权	授权
2016-04-06	公开	公开

共 50 条

[1]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

齐藤均 ;

佐佐木和男 ;

里吉务 ;

东条利洋 .

中国专利 :CN111430210A ,2020-07-17

[2]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 ;

里吉务 ;

山泽阳平 ;

古屋敦城 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN103811262B ,2014-05-21

[3]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

金禹贤 ;

刘光钟 ;

崔载勋 ;

卢德熙 ;

金正洙 ;

金东煜 .

韩国专利 :CN119517715A ,2025-02-25

[4]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

李昌根 .

中国专利 :CN214043598U ,2021-08-24

[5]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

山泽阳平 ;

佐佐木和男 ;

古屋敦城 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN103985624A ,2014-08-13

[6]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

东条利洋 ;

里吉务 ;

佐佐木和男 .

中国专利 :CN103996595A ,2014-08-20

[7]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

里吉务 .

中国专利 :CN1437433A ,2003-08-20

[8]

一种电感线圈及电感耦合等离子体处理装置 [P].

倪图强 ;

梁洁 .

中国专利 :CN104637767B ,2015-05-20

[9]

一种电感耦合线圈、电感耦合等离子体源及等离子体处理装置 [P].

唐乐 ;

王兆祥 ;

李可 ;

梁洁 ;

彭国发 ;

张朋兵 ;

顾橙蕾 .

中国专利 :CN118984520A ,2024-11-19

[10]

一种电感耦合线圈、电感耦合等离子体源及等离子体处理装置 [P].

唐乐 ;

王兆祥 ;

李可 ;

梁洁 ;

彭国发 ;

张朋兵 ;

顾橙蕾 .

中国专利 :CN118984520B ,2025-01-24

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