一种电感耦合等离子体处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910694285.6

申请日：

2019-07-30

公开(公告)号：

CN110416053B

公开(公告)日：

2019-11-05

发明(设计)人：

刘海洋刘小波李雪冬李娜程实然郭颂胡冬冬许开东

申请人：

申请人地址：

221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司 32200

代理人：

钱超

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-16	授权	授权
2019-11-05	公开	公开
2019-11-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20190730

共 50 条

[1]

电感耦合等离子体处理系统及处理方法 [P].

罗伟义 ;

刘骁兵 ;

倪图强 .

中国专利 :CN106298418A ,2017-01-04

[2]

电感耦合等离子体处理系统及处理方法 [P].

罗伟义 ;

刘骁兵 ;

倪图强 .

中国专利 :CN106298419B ,2017-01-04

[3]

一种电感耦合等离子体处理装置 [P].

谢小兵 ;

黄智林 ;

万磊 ;

王俊 ;

刘身健 ;

梁洁 .

中国专利 :CN105470087A ,2016-04-06

[4]

电感耦合等离子体装置 [P].

梁洁 ;

罗伟义 .

中国专利 :CN104103485B ,2014-10-15

[5]

电感耦合等离子体处理装置与等离子体产生装置 [P].

倪图强 ;

庞晓贝 ;

饭塚浩 .

中国专利 :CN108271307A ,2018-07-10

[6]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

齐藤均 ;

佐佐木和男 ;

里吉务 ;

东条利洋 .

中国专利 :CN111430210A ,2020-07-17

[7]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 ;

里吉务 ;

山泽阳平 ;

古屋敦城 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN103811262B ,2014-05-21

[8]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

金禹贤 ;

刘光钟 ;

崔载勋 ;

卢德熙 ;

金正洙 ;

金东煜 .

韩国专利 :CN119517715A ,2025-02-25

[9]

电感耦合等离子体处理设备 [P].

佘清 ;

吕铀 .

中国专利 :CN103578905A ,2014-02-12

[10]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

山泽阳平 ;

佐佐木和男 ;

古屋敦城 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN103985624A ,2014-08-13

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