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电感耦合等离子体处理系统及处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201510253317.0
申请日：
2015-05-18
公开(公告)号：
CN106298419B
公开(公告)日：
2017-01-04
发明(设计)人：
罗伟义
刘骁兵
倪图强
申请人：
申请人地址：
201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
王宝筠
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-02-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101700834733 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:2015102533170 申请日:20150518 |
| 2017-01-04 | 公开 | 公开 |
| 2019-04-02 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01J 37/32 变更事项:专利权人 变更前:中微半导体设备（上海）有限公司 变更后:中微半导体设备（上海）股份有限公司 变更事项:地址 变更前:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号 变更后:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号 |
| 2018-10-16 | 授权 | 授权 |