电感耦合等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921410229.7

申请日：

2019-08-28

公开(公告)号：

CN211295030U

公开(公告)日：

2020-08-18

发明(设计)人：

李昌根朴宇钟

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

姜虎;陈英俊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-18	授权	授权

共 50 条

[1]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

李卿硕 ;

李钟彬 ;

李智效 .

中国专利 :CN211295031U ,2020-08-18

[2]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 ;

东条利洋 .

中国专利 :CN102751157B ,2012-10-24

[3]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

齐藤均 ;

佐佐木和男 ;

里吉务 ;

东条利洋 .

中国专利 :CN111430210A ,2020-07-17

[4]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

崔智淑 ;

李昌根 .

中国专利 :CN103917037B ,2014-07-09

[5]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 ;

里吉务 ;

山泽阳平 ;

古屋敦城 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN103811262B ,2014-05-21

[6]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

金禹贤 ;

刘光钟 ;

崔载勋 ;

卢德熙 ;

金正洙 ;

金东煜 .

韩国专利 :CN119517715A ,2025-02-25

[7]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

李炅锡 ;

丘炳熙 ;

金正泰 ;

孙东植 ;

李庆汉 ;

林正焕 ;

崔智淑 .

中国专利 :CN103917036A ,2014-07-09

[8]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

李昌根 .

中国专利 :CN214043598U ,2021-08-24

[9]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 ;

东条利洋 .

中国专利 :CN102751156A ,2012-10-24

[10]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

山泽阳平 ;

佐佐木和男 ;

古屋敦城 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN103985624A ,2014-08-13

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