器件的制造装置及制造方法、器件制造装置的驱动方法

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专利类型
发明
申请号
CN03106187.7
申请日
2003-02-20
公开(公告)号
CN1238189C
公开(公告)日
2003-09-03
发明(设计)人
木口浩史
申请人
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
B41J200
IPC分类号
G02F100 G01B520
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司
代理人
汪惠民
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
制膜装置及其驱动方法、器件的制造方法和制造装置及器件 [P]. 
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[4]
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[10]
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