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照明光学系统、曝光装置以及物品制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810814945.5
申请日：
2018-07-24
公开(公告)号：
CN109307988B
公开(公告)日：
2019-02-05
发明(设计)人：
大阪升
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038
代理人：
程晨
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-09 | 授权 | 授权 |
| 2019-08-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180724 |
| 2019-02-05 | 公开 | 公开 |