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一种薄膜压力传感器及其制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910486990.7
申请日：
2019-06-05
公开(公告)号：
CN110108396A
公开(公告)日：
2019-08-09
发明(设计)人：
吉晨阳
丁伟
杨玉卓
张晓奕
申请人：
申请人地址：
112611 辽宁省铁岭市铁岭县新台子镇懿路工业园区中央C路
IPC主分类号：
G01L120
IPC分类号：
代理机构：
北京高沃律师事务所 11569
代理人：
张德才
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-09-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/20 申请日:20190605 |
| 2019-08-09 | 公开 | 公开 |