一种薄膜压力传感器及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710090793.4

申请日：

2017-02-20

公开(公告)号：

CN106768524A

公开(公告)日：

2017-05-31

发明(设计)人：

彭银桥雷桂斌甘元驹付东洋王淑青陈月峰

申请人：

申请人地址：

524088 广东省湛江市麻章区海大路1号

IPC主分类号：

G01L122

IPC分类号：

G01L904

代理机构：

广州粤高专利商标代理有限公司 44102

代理人：

张月光;林伟斌

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101729169215 IPC(主分类):G01L 1/22 专利申请号:2017100907934 申请日:20170220
2017-05-31	公开	公开

共 50 条

[1]

一种薄膜压力传感器 [P].

彭银桥 ;

雷桂斌 ;

甘元驹 ;

付东洋 ;

王淑青 ;

陈月峰 .

中国专利 :CN206459775U ,2017-09-01

[2]

薄膜压力传感器及其制造方法 [P].

曹勇全 ;

谢锋 ;

谢明 .

中国专利 :CN105466626B ,2016-04-06

[3]

一种薄膜压力传感器芯片及制造方法 [P].

雷卫武 .

中国专利 :CN108132115A ,2018-06-08

[4]

一种薄膜压力传感器及其制造方法 [P].

吉晨阳 ;

丁伟 ;

杨玉卓 ;

张晓奕 .

中国专利 :CN110108396A ,2019-08-09

[5]

薄膜压力传感器 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN105021341B ,2015-11-04

[6]

一种薄膜压力传感器 [P].

周国方 ;

景涛 ;

龚星 ;

袁云华 ;

章良 .

中国专利 :CN204286669U ,2015-04-22

[7]

快速响应薄膜压力传感器及其制造方法 [P].

雷念程 .

中国专利 :CN107543644A ,2018-01-05

[8]

快速响应薄膜压力传感器及其制造方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109100080A ,2018-12-28

[9]

薄膜压力传感器 [P].

吉晨阳 ;

丁伟 ;

杨玉卓 ;

张晓奕 .

中国专利 :CN305529445S ,2020-01-03

[10]

薄膜压力传感器 [P].

张亚峰 ;

赵亮 .

中国专利 :CN307140952S ,2022-03-04

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