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晶圆裂片设备用试验装置

被引：0
申请号：
CN202210992419.4
申请日：
2022-08-18
公开(公告)号：
CN115389237A
公开(公告)日：
2022-11-25
发明(设计)人：
赵裕兴 卢铎文
申请人：
申请人地址：
215021 江苏省苏州市工业园区杏林街98号
IPC主分类号：
G01M9900
IPC分类号：
代理机构：
江苏圣典律师事务所 32237
代理人：
王玉国
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-12-13 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 99/00 申请日:20220818
2022-11-25 公开 公开
共 50 条
[1]
晶圆裂片设备用试验装置 [P]. 
赵裕兴 ;
卢铎文 .
中国专利 :CN218330636U ,2023-01-17
[2]
晶圆裂片设备用试验装置 [P]. 
赵裕兴 ;
卢铎文 .
中国专利 :CN115389237B ,2025-11-28
[3]
晶圆裂片装置 [P]. 
王伟 .
中国专利 :CN208433376U ,2019-01-25
[4]
晶圆裂片装置 [P]. 
蔡震 ;
潘昊 ;
芮建保 .
中国专利 :CN113894437A ,2022-01-07
[5]
晶圆裂片装置 [P]. 
赵裕兴 ;
梁倍宁 .
中国专利 :CN110328765A ,2019-10-15
[6]
晶圆裂片装置 [P]. 
孙耀 .
中国专利 :CN104409386B ,2015-03-11
[7]
晶圆裂片装置 [P]. 
王伟 .
中国专利 :CN108695215A ,2018-10-23
[8]
晶圆裂片装置 [P]. 
赵裕兴 ;
梁倍宁 .
中国专利 :CN210705411U ,2020-06-09
[9]
晶圆裂片装置 [P]. 
孙耀 .
中国专利 :CN204516726U ,2015-07-29
[10]
一种晶圆裂片装置及晶圆裂片方法 [P]. 
郭凯 ;
冯田田 ;
唐毅 ;
敬毅 ;
谢雷 .
中国专利 :CN115036213A ,2022-09-09
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