抗反射性聚合物、抗反射性组成物及形成图案的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810126683.X

申请日：

2008-06-20

公开(公告)号：

CN101362809B

公开(公告)日：

2009-02-11

发明(设计)人：

郑载昌

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C08F2804

IPC分类号：

C08L4100 C08K542 G03F7004 G03F720

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

顾红霞;何胜勇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-05-18	授权	授权
2009-02-11	公开	公开
2009-04-08	实质审查的生效	实质审查的生效
2014-08-13	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101584407983 IPC(主分类):C08F 28/04 专利号:ZL200810126683X 申请日:20080620 授权公告日:20110518 终止日期:20130620

共 50 条

[1]

抗反射性聚合物、抗反射性组成物及形成图案的方法 [P].

郑载昌 ;

李晟求 .

中国专利 :CN101362812B ,2009-02-11

[2]

抗反射涂料组成物及抗反射膜 [P].

高怡惠 ;

黄昱豪 .

中国专利 :CN106928755A ,2017-07-07

[3]

顶端抗反射涂料聚合物、制法及顶端抗反射涂料组合物 [P].

郑傤昌 .

中国专利 :CN1719337A ,2006-01-11

[4]

顶端抗反射涂料聚合物、制法及顶端抗反射涂料组合物 [P].

郑儎昌 .

中国专利 :CN100339406C ,2005-11-02

[5]

聚合物、抗蚀剂组成物、及图案形成方法 [P].

福岛将大 ;

铃木贵大 ;

提箸正义 ;

长谷川幸士 .

日本专利 :CN117683173A ,2024-03-12

[6]

用于形成抗反射涂层的聚合物 [P].

金相廷 ;

金德倍 ;

金宰贤 .

中国专利 :CN1828414A ,2006-09-06

[7]

用于形成抗反射涂层的聚合物 [P].

金相廷 ;

金德倍 ;

金宰贤 .

中国专利 :CN1827659B ,2006-09-06

[8]

用于形成抗反射涂层的聚合物 [P].

金相廷 ;

金德倍 ;

金宰贤 .

中国专利 :CN1828415B ,2006-09-06

[9]

顶部抗反射涂料聚合物、制法及顶部抗反射涂料组合物 [P].

郑儎昌 ;

卜喆圭 ;

林昌文 ;

文承灿 .

中国专利 :CN1916764B ,2007-02-21

[10]

有机抗反射涂料聚合物,含该聚合物抗反射涂料组合物及其制备方法 [P].

洪圣恩 ;

郑旼镐 ;

郑载昌 ;

李根守 ;

白基镐 .

中国专利 :CN1331255A ,2002-01-16

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