原料气体供给系统和原料气体供给方法

被引：0

申请号：

CN202080058420.9

申请日：

2020-08-18

公开(公告)号：

CN114269965A

公开(公告)日：

2022-04-01

发明(设计)人：

冈部庸之大仓成幸小森荣一

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C16448

IPC分类号：

H01L21285

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/448 申请日:20200818
2022-04-01	公开	公开

共 50 条

[1]

原料气体供给系统和原料气体供给方法 [P].

冈部庸之 ;

大仓成幸 ;

小森荣一 .

日本专利 :CN114269965B ,2024-07-19

[2]

原料气体供给系统和原料气体供给方法 [P].

冈部庸之 ;

大仓成幸 ;

小森荣一 .

日本专利 :CN114391051B ,2024-06-04

[3]

原料气体供给系统和原料气体供给方法 [P].

冈部庸之 ;

大仓成幸 ;

小森荣一 .

中国专利 :CN114391051A ,2022-04-22

[4]

原料气体供给装置和原料气体供给方法 [P].

八木宏宪 ;

成嶋健索 ;

松山中成 .

中国专利 :CN107043927A ,2017-08-15

[5]

原料气体供给装置和原料气体供给方法 [P].

八木宏宪 ;

诸井政幸 .

中国专利 :CN106987824B ,2017-07-28

[6]

原料气体供给系统、粉末原料补充机构以及粉末原料补充方法 [P].

小森荣一 .

日本专利 :CN117355633A ,2024-01-05

[7]

原料气体供给装置 [P].

张泽龙 ;

李炳一 ;

李永浩 ;

张锡弼 .

中国专利 :CN101235487B ,2008-08-06

[8]

原料气体供给装置 [P].

诸井政幸 .

中国专利 :CN106191813B ,2016-12-07

[9]

原料气体的供给系统以及成膜装置 [P].

原正道 ;

五味淳 ;

前川伸次 ;

山本薰 ;

多贺敏 .

中国专利 :CN101772590A ,2010-07-07

[10]

原料供给装置和原料供给方法 [P].

小森荣一 .

日本专利 :CN116018426B ,2025-04-25

← 1 2 3 4 5 →