原料气体的供给系统以及成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880100433.7

申请日：

2008-09-22

公开(公告)号：

CN101772590A

公开(公告)日：

2010-07-07

发明(设计)人：

原正道五味淳前川伸次山本薰多贺敏

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C16448

IPC分类号：

H01L2131

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李伟;舒艳君

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-03-14	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101299923460 IPC(主分类):C23C 16/448 专利申请号:2008801004337 公开日:20100707
2010-07-07	公开	公开
2010-09-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005580326 IPC(主分类):C23C 16/448 专利申请号:2008801004337 申请日:20080922

共 50 条

[1]

气体供给机构和气体供给方法以及使用其的成膜装置和成膜方法 [P].

诸井政幸 ;

山中孟 ;

饗场康 ;

堀田隼史 .

中国专利 :CN104947082B ,2015-09-30

[2]

成膜装置、原料供给装置以及成膜方法 [P].

古屋雄一 ;

田中雅之 .

中国专利 :CN110735124A ,2020-01-31

[3]

原料供给装置以及成膜装置 [P].

山崎英亮 ;

河野有美子 .

中国专利 :CN101268212B ,2008-09-17

[4]

汽化器、包括汽化器的原料气体供给系统和使用它的成膜装置 [P].

田中澄 ;

小松智仁 ;

二村宗久 .

中国专利 :CN101785089B ,2010-07-21

[5]

原料气体供给系统和原料气体供给方法 [P].

冈部庸之 ;

大仓成幸 ;

小森荣一 .

日本专利 :CN114391051B ,2024-06-04

[6]

原料气体供给系统和原料气体供给方法 [P].

冈部庸之 ;

大仓成幸 ;

小森荣一 .

日本专利 :CN114269965B ,2024-07-19

[7]

原料气体供给系统和原料气体供给方法 [P].

冈部庸之 ;

大仓成幸 ;

小森荣一 .

中国专利 :CN114269965A ,2022-04-01

[8]

原料气体供给系统和原料气体供给方法 [P].

冈部庸之 ;

大仓成幸 ;

小森荣一 .

中国专利 :CN114391051A ,2022-04-22

[9]

气体供给装置和成膜装置 [P].

八木宏宪 ;

掛川崇 ;

山口克昌 ;

古屋雄一 ;

孟贤男 .

中国专利 :CN109504952A ,2019-03-22

[10]

成膜装置、气体供给装置以及成膜方法 [P].

那须胜行 ;

佐野正树 ;

布重裕 .

中国专利 :CN104073780A ,2014-10-01

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