气体供给装置和成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811050750.4

申请日：

2018-09-10

公开(公告)号：

CN109504952A

公开(公告)日：

2019-03-22

发明(设计)人：

八木宏宪掛川崇山口克昌古屋雄一孟贤男

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1652 H01L2102

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-22	公开	公开
2021-07-06	授权	授权
2019-04-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20180910

共 50 条

[1]

气体供给装置、气体供给方法和成膜方法 [P].

山口克昌 ;

成嶋健索 ;

八木宏宪 ;

关户幸一 .

中国专利 :CN108531889A ,2018-09-14

[2]

气体供给装置、气体供给方法和成膜方法 [P].

山口克昌 ;

成嶋健索 ;

八木宏宪 .

中国专利 :CN108531888A ,2018-09-14

[3]

成膜装置、气体供给装置以及成膜方法 [P].

那须胜行 ;

佐野正树 ;

布重裕 .

中国专利 :CN104073780A ,2014-10-01

[4]

原料供给装置和成膜装置 [P].

木元大寿 ;

渡边纪之 ;

成嶋健索 ;

关户幸一 ;

川口拓哉 .

中国专利 :CN113529052A ,2021-10-22

[5]

成膜装置、原料供给装置以及成膜方法 [P].

古屋雄一 ;

田中雅之 .

中国专利 :CN110735124A ,2020-01-31

[6]

成膜装置、成膜方法、存储介质及气体供给装置 [P].

津田荣之辅 .

中国专利 :CN101755325A ,2010-06-23

[7]

气体供给机构和气体供给方法以及使用其的成膜装置和成膜方法 [P].

诸井政幸 ;

山中孟 ;

饗场康 ;

堀田隼史 .

中国专利 :CN104947082B ,2015-09-30

[8]

气体处理装置和成膜装置 [P].

饭塚八城 ;

木村宏一郎 .

中国专利 :CN1806317A ,2006-07-19

[9]

原料气体的供给系统以及成膜装置 [P].

原正道 ;

五味淳 ;

前川伸次 ;

山本薰 ;

多贺敏 .

中国专利 :CN101772590A ,2010-07-07

[10]

成膜装置和成膜方法 [P].

古屋雄一 ;

田中雅之 .

日本专利 :CN121006520A ,2025-11-25

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