气体供给装置、气体供给方法和成膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810175365.6

申请日：

2018-03-02

公开(公告)号：

CN108531889A

公开(公告)日：

2018-09-14

发明(设计)人：

山口克昌成嶋健索八木宏宪关户幸一

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1652 C23C1614

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-15	授权	授权
2018-10-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20180302
2018-09-14	公开	公开

共 50 条

[1]

气体供给装置、气体供给方法和成膜方法 [P].

山口克昌 ;

成嶋健索 ;

八木宏宪 .

中国专利 :CN108531888A ,2018-09-14

[2]

气体供给装置和成膜装置 [P].

八木宏宪 ;

掛川崇 ;

山口克昌 ;

古屋雄一 ;

孟贤男 .

中国专利 :CN109504952A ,2019-03-22

[3]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

大仓成幸 ;

布重裕 .

中国专利 :CN107686985B ,2018-02-13

[4]

气体供给装置、气体供给方法 [P].

高梨启一 ;

石桥昌幸 .

中国专利 :CN109423622A ,2019-03-05

[5]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

林裕之 ;

太田龙作 .

中国专利 :CN113056962A ,2021-06-29

[6]

气体供给方法和气体供给装置 [P].

原正道 ;

五味淳 ;

横山敦 ;

田中利昌 ;

前川伸次 ;

多贺敏 .

中国专利 :CN101646803B ,2010-02-10

[7]

原料气体供给装置和原料气体供给方法 [P].

八木宏宪 ;

诸井政幸 .

中国专利 :CN106987824B ,2017-07-28

[8]

原料气体供给装置和原料气体供给方法 [P].

八木宏宪 ;

成嶋健索 ;

松山中成 .

中国专利 :CN107043927A ,2017-08-15

[9]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

林裕之 ;

太田龙作 .

日本专利 :CN113056962B ,2024-03-08

[10]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

成岛健索 ;

堀田隼史 ;

松本淳志 ;

川口拓哉 ;

木元大寿 .

中国专利 :CN114375347A ,2022-04-19

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