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原料气体供给系统和原料气体供给方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080058420.9
申请日：
2020-08-18
公开(公告)号：
CN114269965B
公开(公告)日：
2024-07-19
发明(设计)人：
冈部庸之 大仓成幸 小森荣一
申请人：
东京毅力科创株式会社
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
C23C16/448
IPC分类号：
H01L21/285
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;张会华
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-07-19 授权 授权
共 50 条
[1]
原料气体供给系统和原料气体供给方法 [P]. 
冈部庸之 ;
大仓成幸 ;
小森荣一 .
中国专利 :CN114269965A ,2022-04-01
[2]
原料气体供给系统和原料气体供给方法 [P]. 
冈部庸之 ;
大仓成幸 ;
小森荣一 .
日本专利 :CN114391051B ,2024-06-04
[3]
原料气体供给系统和原料气体供给方法 [P]. 
冈部庸之 ;
大仓成幸 ;
小森荣一 .
中国专利 :CN114391051A ,2022-04-22
[4]
原料气体供给装置和原料气体供给方法 [P]. 
八木宏宪 ;
成嶋健索 ;
松山中成 .
中国专利 :CN107043927A ,2017-08-15
[5]
原料气体供给装置和原料气体供给方法 [P]. 
八木宏宪 ;
诸井政幸 .
中国专利 :CN106987824B ,2017-07-28
[6]
原料气体供给系统、粉末原料补充机构以及粉末原料补充方法 [P]. 
小森荣一 .
日本专利 :CN117355633A ,2024-01-05
[7]
原料气体供给装置 [P]. 
张泽龙 ;
李炳一 ;
李永浩 ;
张锡弼 .
中国专利 :CN101235487B ,2008-08-06
[8]
原料气体供给装置 [P]. 
诸井政幸 .
中国专利 :CN106191813B ,2016-12-07
[9]
原料气体的供给系统以及成膜装置 [P]. 
原正道 ;
五味淳 ;
前川伸次 ;
山本薰 ;
多贺敏 .
中国专利 :CN101772590A ,2010-07-07
[10]
原料供给装置和原料供给方法 [P]. 
小森荣一 .
日本专利 :CN116018426B ,2025-04-25
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