一种嵌入式金刚石基碳化硅复合衬底的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110432545.X

申请日：

2021-04-21

公开(公告)号：

CN113151898A

公开(公告)日：

2021-07-23

发明(设计)人：

郑宇亭李成明张钦睿刘思彤魏俊俊刘金龙陈良贤欧阳晓平

申请人：

申请人地址：

100083 北京市海淀区学院路30号

IPC主分类号：

C30B2518

IPC分类号：

C30B2504 C30B2514 C30B2904 C23C1601 C23C1602 C23C1604 C23C1627 C23C1650

代理机构：

北京市广友专利事务所有限责任公司 11237

代理人：

张仲波

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-27	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):C30B 25/18 登记生效日:20210816 变更事项:申请人变更前权利人:北京科技大学变更后权利人:北京科技大学变更事项:地址变更前权利人:100083 北京市海淀区学院路30号变更后权利人:100083 北京市海淀区学院路30号变更事项:申请人变更后权利人:北京科技大学顺德研究生院
2021-08-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 25/18 申请日:20210421
2021-10-15	授权	授权
2021-07-23	公开	公开

共 50 条

[1]

一种高导热金刚石增强碳化硅衬底的制备方法 [P].

郑宇亭 ;

李成明 ;

张钦睿 ;

刘思彤 ;

魏俊俊 ;

郝志恒 ;

刘金龙 ;

陈良贤 ;

安康 ;

张建军 .

中国专利 :CN113571409B ,2021-10-29

[2]

一种制备碳化硅-金刚石复合衬底的方法 [P].

王旗 ;

宗艳民 ;

隋晓明 ;

苏丽娜 ;

王凯 ;

宋猛 ;

刘硕 ;

徐光明 ;

谷容田 ;

周惠琴 ;

朱灿 .

中国专利 :CN119811986A ,2025-04-11

[3]

一种碳化硅-金刚石复合衬底及应用 [P].

王旗 ;

隋晓明 ;

宗艳民 ;

苏丽娜 ;

刘硕 ;

王凯 ;

张林 ;

潘亚妮 ;

党一帆 ;

朱灿 .

中国专利 :CN119812142A ,2025-04-11

[4]

碳化硅基CVD金刚石涂层的制备方法及碳化硅基 [P].

何利文 ;

蒋梦婷 ;

欧阳晓平 .

中国专利 :CN111499410A ,2020-08-07

[5]

一种金刚石增强碳化硅复合晶圆的制备方法 [P].

郑宇亭 ;

魏俊俊 ;

李成明 ;

尹育航 ;

周浩钧 ;

陶洪亮 .

中国专利 :CN114717540A ,2022-07-08

[6]

类金刚石-碳化硅复合薄膜的制备方法 [P].

许嘉麟 .

中国专利 :CN104131264A ,2014-11-05

[7]

碳化硅-金刚石颗粒铝基复合粉末及其制备方法 [P].

范才河 ;

胡泽艺 ;

李普宇 ;

刘玮 ;

罗益超 ;

赵学远 ;

阳建君 .

中国专利 :CN120290927A ,2025-07-11

[8]

一种金刚石/碳化硅预制件及金刚石/碳化硅/铝复合材料的制备方法 [P].

唐健江 ;

王鹏冲 .

中国专利 :CN108821775A ,2018-11-16

[9]

一种金刚石/碳化硅陶瓷基复合材料的制备方法 [P].

何新波 ;

杨振亮 ;

吴茂 ;

任淑彬 ;

曲选辉 .

中国专利 :CN102030556B ,2011-04-27

[10]

一种金刚石基氮化镓复合衬底的制备方法 [P].

郑宇亭 ;

李成明 ;

刘思彤 ;

张钦睿 ;

魏俊俊 ;

刘金龙 ;

陈良贤 .

中国专利 :CN112981535B ,2021-06-18

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