类金刚石-碳化硅复合薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310158139.4

申请日：

2013-05-02

公开(公告)号：

CN104131264A

公开(公告)日：

2014-11-05

发明(设计)人：

许嘉麟

申请人：

申请人地址：

518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号

IPC主分类号：

C23C1622

IPC分类号：

C23C1650

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-11-05	公开	公开
2016-12-21	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101743568048 IPC(主分类):C23C 16/22 专利申请号:2013101581394 申请公布日:20141105

共 50 条

[1]

碳化硅粉体表面包覆金刚石或类金刚石薄膜的方法 [P].

赵斌元 ;

赖奕坚 ;

宁月生 ;

胡晓斌 ;

范同祥 ;

郝旷忠 .

中国专利 :CN103102163A ,2013-05-15

[2]

含磷类金刚石碳复合薄膜的制备方法 [P].

薛群基 ;

王立平 ;

万善宏 .

中国专利 :CN101736378A ,2010-06-16

[3]

超亲水类金刚石复合薄膜的制备方法 [P].

薛群基 ;

王立平 ;

万善宏 .

中国专利 :CN101736379A ,2010-06-16

[4]

类金刚石薄膜镀膜方法 [P].

颜士杰 .

中国专利 :CN1796592A ,2006-07-05

[5]

一种金刚石/碳化硅预制件及金刚石/碳化硅/铝复合材料的制备方法 [P].

唐健江 ;

王鹏冲 .

中国专利 :CN108821775A ,2018-11-16

[6]

碳化硅陶瓷和金刚石复合拉拔模具制备方法 [P].

孙方宏 ;

张志明 ;

沈荷生 ;

郭松寿 .

中国专利 :CN101318839A ,2008-12-10

[7]

碳化硅基CVD金刚石涂层的制备方法及碳化硅基 [P].

何利文 ;

蒋梦婷 ;

欧阳晓平 .

中国专利 :CN111499410A ,2020-08-07

[8]

一种制备碳化硅-金刚石复合衬底的方法 [P].

王旗 ;

宗艳民 ;

隋晓明 ;

苏丽娜 ;

王凯 ;

宋猛 ;

刘硕 ;

徐光明 ;

谷容田 ;

周惠琴 ;

朱灿 .

中国专利 :CN119811986A ,2025-04-11

[9]

制备金刚石和类金刚石薄膜的方法 [P].

马志斌 ;

汪建华 .

中国专利 :CN1410590A ,2003-04-16

[10]

类金刚石薄膜制备方法 [P].

庄严 .

中国专利 :CN101319324A ,2008-12-10

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