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半导体器件测试装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN98114961.8
申请日：
1998-05-12
公开(公告)号：
CN1205438A
公开(公告)日：
1999-01-20
发明(设计)人：
叶山久夫
后藤敏雄
菅野幸男
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G01R3126
IPC分类号：
代理机构：
柳沈知识产权律师事务所
代理人：
马莹
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2004-09-15 | 授权 | 授权 |
| 2009-07-15 | 专利权的终止(未缴年费专利权终止) | 专利权的终止(未缴年费专利权终止) |
| 1998-12-09 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |
| 1999-01-20 | 公开 | 公开 |